適用環境等級 適用於： FS-209E CLASS 1~100 ISO CLASS 1~5 (微粒子濃度更低之區域量測) 應用產業 & 應用區域 半導體廠、先進製程、黃光區、半導體設備機台內部、光罩儲存區…等 極潔淨環境微粒子量測應用 需求 單位 半導體廠、光電產業、電子廠、研究單位、工程公司、檢測單位
